Monitor de referencia de flujo (RFM) molbox

El molbox RFM es una unidad de apoyo para realizar mediciones de flujo masivo mediante los elementos de flujo laminar de molbloc-L y de flujo sónico de molbloc-S
Los elementos de flujo de molbloc se conectan al molbox RFM con dos conexiones de presión y una línea de datos. molbox RFM lee los datos de calibración del molbloc EEPROM y mide la presión de entrada y de salida del molbloc con sus propios transductores de presión de referencia (RPT, por sus siglas en inglés) de alta precisión integrados. Un sistema de medición óhmico lee la resistencia de los termómetros de resistencia de platino del molbloc, desde los cuales se calcula la temperatura del molbloc. La tasa de flujo del gas que pasa a través del molbloc se calcula mediante los datos de calibración, presiones y propiedades de temperatura y gas del molbloc almacenados en la memoria de molbox RFM. Para los elementos de flujo del molbloc-L, existe una opción de microrrango con la que incrementar la resolución y la precisión de medición de flujo por debajo de 10% FS del rango de flujo.
Los elementos de flujo de molbox RFM y molbloc resultan útiles en una serie de aplicaciones de medición, prueba y calibración en las que se necesiten mediciones de flujos bajos de gas con una gran precisión. molbox RFM está específicamente diseñado para aquellas aplicaciones en las que las consideraciones principales sean una presentación muy compacta, un gran rango de medida y un coste reducido. Para aplicaciones en las que la prioridad sea contar con la mínima incertidumbre posible, existe un segundo modelo, molbox1+. Con el fin de configurar su sistema de calibración de flujo masivo, consulte las páginas siguientes para seleccionar el molbloc y las calibraciones dependientes de la presión que mejor cubran sus rangos de flujo y sus condiciones de presión. Puede completar el sistema con los sistemas de montaje de molstic y el software de calibración de flujo para molbox COMPASS®.

Presentación compacta
Cubre el rango de flujo de 1 sccm a 100 slm con molbloc-L, y hasta 5.000 slm con molbloc-S.
Seleccione de entre 20 gases diferentes.
Incertidumbre de medición acreditada de ±0,5% de la lectura hasta un rango de medida de 100:1
Válvulas interiores para purgado integrado, detección de fugas y apoyo de peso muerto
Incluye funciones de medición avanzadas, tales como totalizar, media, alto/bajo y desviación
Control completo gracias al panel frontal y comunicaciones remotas RS232 y IEEE-488
Mide flujo de masa y de volumen con la presión de referencia ajustable por el usuario las condiciones de temperatura

Especificaciones de medición de flujo

molbox RFM mide el flujo mediante los elementos de flujo del molbloc. El rango de flujo, la presión operacional utilizable y la presión diferencial para el molbloc-L (o el rango de flujo y el rango de presión absoluta para el molbloc-S) dependen del elemento del molbloc que se utilice y de sus opciones de calibración. Consulte los folletos de rango de molbloc-L y molbloc-S para obtener detalles de la calibración y el rango.

Para rangos del molbloc-L de hasta 3E4, la resolución y la precisión por debajo de 10% FS mejoran con la opción de microrrango. Para el 1E5-L molbloc, la opción de microrrango es necesaria para lograr la especificación.

molbox RFM
	molbloc-L (rangos de 1E1-L a 3E4-L)	molbloc-S (todos los rangos)
Tasa de actualización de medición	1 segundo	1 segundo
Intervalo	Para la escala completa del molbloc en función de la presión y del tipo de calibración dependiente del gas (consulte el folleto de rango del molbloc-L)	El flujo relacionado con salida absoluta de 20 a 200 kPa (de 3 a 30 psia) o de 50 a 500 kPa (de 7 a 70 psia) (consulte el folleto de rango del molbloc-S)
Resolución	0,01% FS	±0,01% de la lectura
Linealidad	±0,23% de la lectura entre 10 y 100% FS, ±0,023% FS bajo 10% FS	±0,25% de la lectura
Repetibilidad	±0,1% de la lectura entre 10 y 100% FS, ±0,01% FS bajo 10% FS	±0,1% de la lectura
Precisión¹	±0,25% de la lectura entre 10 y 100% FS, ±0,025% FS bajo 10% FS	±0,3% de la lectura
Estabilidad prevista² (un año)	±0,15% de la lectura entre 10 y 100% FS, ±0,015% FS bajo 10% FS	±0,2% de la lectura
Incertidumbre de la medición³	±0,5% de la lectura entre 10 y 100% FS, ±0,05% FS bajo 10% FS	±0,5% de la lectura entre 50 y 500 kPa, ±0,5% del flujo @ 50 kPa entre 20 y 50 kPa

molbox RFM con opción de microrrango
	molbloc-L (rangos de 1E1-L a 3E4-L)	molbloc-L (solo rangos 1E5)
Tasa de actualización de medición	1 segundo	1 segundo
Intervalo	De 0 a escala completa del molbloc en función de la presión y del tipo de calibración dependiente del gas (consulte las tablas del molbloc-L)	De 0 a escala completa del molbloc en función de la presión y del tipo de calibración dependiente del gas (consulte las tablas del molbloc-L)
Resolución	0,01% FS, 0,001% FS por debajo de 10% FS	0,01% FS
Linealidad	±0,23% de la lectura entre 1 y 100% FS, ±0,0023% FS bajo 1% FS	±0,25% de la lectura entre 5 y 100% FS, ±0,0125% FS por debajo de 5% FS
Repetibilidad	±0,1% de la lectura entre 1 y 100% FS, ±0,001% FS bajo 1% FS	±0,2% de la lectura entre 5 y 100% FS, ±0,01% FS por debajo de 5% FS
Precisión¹	±0,25% de la lectura entre 1 y 100% FS, ±0,0025% FS bajo 1% FS	±0,32% de la lectura entre 5 y 100% FS, ±0,016% FS por debajo de 5% FS
Estabilidad prevista² (un año)	±0,15% de la lectura entre 1 y 100% FS, ±0,0015% FS bajo 1% FS	±0,2% de la lectura entre 5 y 100% FS, ±0,01% FS por debajo de 5% FS
Nivel de incertidumbre de la medición³	±0,5% de la lectura entre 1 y 100% FS, ±0,005% FS bajo 1% FS	±0,5% de la lectura entre 5 y 100% FS, ±0,025% FS por debajo de 5% FS

molbloc-S (todos los rangos)

Las especificaciones son las mismas que para un molbox RFM sin microrrango. El transductor de microrrango se encuentra desactivado siempre que el molbox RFM esté conectado a un molbloc-S.

¹Precisión: linealidad, histéresis y repetibilidad combinadas

² Estabilidad predicha: cambio máximo en cero y amplitud a lo largo de un año para un molbox RFM y molbloc típicos usados en condiciones típicas. Dado que la estabilidad solo se puede predecir, la estabilidad para un molbox RFM específico ha de establecerse mediante la experiencia.

³Incertidumbre de medición: desviación máxima de la indicación de flujo del molbox RFM respecto al valor real del flujo a través del molbloc, incluidas precisión, estabilidad e incertidumbre de medición de calibración estándar de DHI. Las especificaciones de incertidumbre de medición para molbloc solo son válidas para los gases con los se haya calibrado dicho molbloc. Todos los molbloc se calibran para N2. Las calibraciones con otros gases son opcionales. La capacidad de calibración de DHI no se mantiene siempre para todos los gases en todas las designaciones de molbloc. Consulte la disponibilidad antes de efectuar el pedido.

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